مواصفة | 99.999% |
الأكسجين + الأرجون | ≤1 جزء في المليون |
نتروجين | ≤4 جزء في المليون |
الرطوبة(H2O) | ≤3 جزء في المليون |
HF | ≤0.1 جزء في المليون |
CO | ≤0.1 جزء في المليون |
ثاني أكسيد الكربون | ≤1 جزء في المليون |
SF6 | ≤1 جزء في المليون |
هالوكاربينات | ≤1 جزء في المليون |
إجمالي الشوائب | ≤10 جزء في المليون |
رباعي فلوريد الكربون هو هيدروكربون هالوجيني صيغته الكيميائية CF4. يمكن اعتباره هيدروكربون هالوجيني، أو ميثان هالوجيني، أو مشبعًا بالفلور، أو مركبًا غير عضوي. رباعي فلوريد الكربون غاز عديم اللون والرائحة، غير قابل للذوبان في الماء، وقابل للذوبان في البنزين والكلوروفورم. مستقر في درجات الحرارة والضغط العادية، ويتجنب المؤكسدات القوية والمواد القابلة للاشتعال أو الاحتراق. غاز غير قابل للاحتراق، ويزداد الضغط الداخلي للوعاء عند تعرضه للحرارة العالية، مما يُشكل خطر التشقق والانفجار. وهو مستقر كيميائيًا وغير قابل للاشتعال. لا يعمل إلا كاشف الأمونيا والصوديوم المعدني السائل في درجة حرارة الغرفة. رباعي فلوريد الكربون غاز يُسبب ظاهرة الاحتباس الحراري. وهو مستقر للغاية، ويمكن أن يبقى في الغلاف الجوي لفترة طويلة، وهو غاز دفيئة قوي جدًا. يُستخدم رباعي فلوريد الكربون في عملية النقش البلازمي لمختلف الدوائر المتكاملة. يُستخدم أيضًا كغاز ليزر، وفي المبردات منخفضة الحرارة، والمذيبات، ومواد التشحيم، والمواد العازلة، ومبردات أجهزة الكشف بالأشعة تحت الحمراء. وهو أكثر غازات النقش البلازمي استخدامًا في صناعة الإلكترونيات الدقيقة. وهو مزيج من غاز رباعي فلورو الميثان عالي النقاء، وغاز رباعي فلورو الميثان عالي النقاء، وأكسجين عالي النقاء. ويمكن استخدامه على نطاق واسع في السيليكون، وثاني أكسيد السيليكون، ونتريد السيليكون، وزجاج الفوسفوسيليكات. كما يُستخدم نقش مواد الأغشية الرقيقة، مثل التنغستن والتنغستن، على نطاق واسع في تنظيف أسطح الأجهزة الإلكترونية، وإنتاج الخلايا الشمسية، وتكنولوجيا الليزر، والتبريد منخفض الحرارة، وفحص التسربات، والمنظفات في إنتاج الدوائر المطبوعة. ويُستخدم كمبرد منخفض الحرارة، وفي تقنية النقش الجاف بالبلازما للدوائر المتكاملة. احتياطات التخزين: يُحفظ في مستودع غاز غير قابل للاشتعال وبارد وجيد التهوية. يُحفظ بعيدًا عن مصادر النار والحرارة. يجب ألا تتجاوز درجة حرارة التخزين 30 درجة مئوية. يجب تخزينه بمعزل عن المواد القابلة للاشتعال والمؤكسدات، وتجنب التخزين المختلط. يجب تجهيز منطقة التخزين بمعدات معالجة طارئة للتسرب.
① المبرد:
يستخدم رباعي فلورو الميثان في بعض الأحيان كمبرد منخفض الحرارة.
② النقش:
يتم استخدامه في تصنيع الإلكترونيات الدقيقة بمفرده أو بالاشتراك مع الأكسجين كمذيب بلازما للسيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونتريد السيليكون.
منتج | رباعي فلوريد الكربونسي اف 4 | ||
حجم العبوة | اسطوانة سعة 40 لترًا | اسطوانة سعة 50 لتر | |
الوزن الصافي للحشو/أسطوانة | 30 كجم | 38 كجم | |
الكمية المحملة في حاوية 20 قدمًا | 250 أسطوانة | 250 أسطوانة | |
الوزن الصافي الإجمالي | 7.5 طن | 9.5 طن | |
وزن الأسطوانة الفارغة | 50 كجم | 55 كجم | |
صمام | سي جي ايه 580 |
①عالية النقاء، أحدث المرافق؛
②الشركة المصنعة لشهادة ISO؛
③التسليم السريع؛
④نظام تحليل عبر الإنترنت لمراقبة الجودة في كل خطوة؛
⑤متطلبات عالية وعملية دقيقة للتعامل مع الأسطوانة قبل التعبئة؛