النمو المتناحي (النمو المتناحي)مختلط جورجياs

في صناعة أشباه الموصلات، يُطلق على الغاز المستخدم لنمو طبقة واحدة أو أكثر من المواد عن طريق الترسيب الكيميائي للبخار على ركيزة مختارة بعناية اسم الغاز فوق المحوري.

تشمل الغازات المستخدمة عادةً في عملية الترسيب الطبقي للسيليكون ثنائي كلورو سيلان، ورباعي كلوريد السيليكون، وسيلانتُستخدم بشكل أساسي في ترسيب السيليكون المتبلور، وترسيب أغشية أكسيد السيليكون، وترسيب أغشية نتريد السيليكون، وترسيب أغشية السيليكون غير المتبلور للخلايا الشمسية وغيرها من المستقبلات الضوئية، إلخ. الترسيب المتبلور هو عملية يتم فيها ترسيب مادة أحادية البلورة وتنميتها على سطح الركيزة.

الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) الغاز المختلط

الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) هو أسلوب لترسيب عناصر ومركبات معينة عن طريق تفاعلات كيميائية في الطور الغازي باستخدام مركبات متطايرة، أي أنه أسلوب لتكوين طبقة رقيقة باستخدام تفاعلات كيميائية في الطور الغازي. ويختلف الغاز المستخدم في الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) تبعًا لنوع الطبقة الرقيقة المتكونة.

المنشطاتالغاز المختلط

في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة، يتم تطعيم مواد أشباه الموصلات بشوائب معينة لإعطاء المواد نوع التوصيل المطلوب ومقاومة معينة لتصنيع المقاومات، والوصلات PN، والطبقات المدفونة، وما إلى ذلك. ويطلق على الغاز المستخدم في عملية التطعيم اسم غاز التطعيم.

يشمل بشكل رئيسي الأرسين، والفوسفين، وثلاثي فلوريد الفوسفور، وخماسي فلوريد الفوسفور، وثلاثي فلوريد الزرنيخ، وخماسي فلوريد الزرنيخ،ثلاثي فلوريد البورون، ثنائي البوران، إلخ.

عادةً، يُخلط مصدر التطعيم مع غاز حامل (مثل الأرجون والنيتروجين) في خزانة المصدر. بعد الخلط، يُضخ تدفق الغاز باستمرار إلى فرن الانتشار ويحيط بالرقاقة، مما يؤدي إلى ترسيب مواد التطعيم على سطحها، ثم تتفاعل مع السيليكون لتوليد معادن مطعمة تنتقل إلى السيليكون.

النقشخليط الغاز

عملية الحفر هي عملية إزالة سطح المعالجة (مثل طبقة المعدن، طبقة أكسيد السيليكون، إلخ) على الركيزة بدون استخدام قناع مقاوم للضوء، مع الحفاظ على المنطقة التي تحتوي على قناع مقاوم للضوء، وذلك للحصول على نمط التصوير المطلوب على سطح الركيزة.

تشمل طرق الحفر الكيميائي الحفر الكيميائي الرطب والحفر الكيميائي الجاف. ويُطلق على الغاز المستخدم في الحفر الكيميائي الجاف اسم غاز الحفر.

عادةً ما يكون غاز الحفر غاز الفلوريد (الهاليد)، مثلرابع فلوريد الكربون، ثلاثي فلوريد النيتروجين، ثلاثي فلورو الميثان، سداسي فلورو الإيثان، بيرفلورو البروبان، إلخ.