غازات ليزر الإكسيمر

يُعدّ ليزر الإكسيمر نوعًا من أنواع الليزر فوق البنفسجي، ويُستخدم على نطاق واسع في العديد من المجالات، مثل تصنيع الرقائق الإلكترونية، وجراحة العيون، ومعالجة الليزر. وتستطيع شركة تشنغدو تايو للغاز التحكم بدقة في نسبة الإثارة الليزرية لتلبية معايير الإثارة المطلوبة، وقد تم تطبيق منتجات شركتنا على نطاق واسع في المجالات المذكورة أعلاه.

على سبيل المثال، الـغاز فلوريد الأرجونفي ليزر الإكسيمر، يتم مزج الأشعة فوق البنفسجية وإثارتها لإنتاج شعاع فوق بنفسجي غير مرئي للعين المجردة. يتميز هذا الشعاع بطول موجي قصير جدًا يبلغ 193 نانومترًا، ونفاذية ضعيفة.

ليزرات الإكسيمر هي ليزرات غازية نابضة قادرة على إصدار نبضات فائقة القصر (مدة النبضة بيكو ثانية أو فيمتوثانية). وهي تُصدر ضوءًا فوق بنفسجيًا عالي الطاقة بطول موجي أقصر من 360 نانومتر. مصدر انبعاث الأشعة فوق البنفسجية هو تفريغ سريع في خليط عالي الضغط من نسب متساوية من الغازات النادرة (مثل الهيليوم، والنيون، والأرجون، والكريبتون، إلخ) وغازات الهالوجين (مثل الفلور، والكلور، والبروم، إلخ).

في الوقت الحالي، يمكننا تقديمغاز ArF المخلوط مسبقًالجميع ماركات معدات الليزر الإكسيمر الموجودة في السوق تقريبًا.