ليزر الإكسيمر هو نوع من ليزر الأشعة فوق البنفسجية، ويُستخدم على نطاق واسع في مجالات عديدة، مثل تصنيع الرقائق، وجراحة العيون، ومعالجة الليزر. تتميز شركة تشنغدو تايو للغاز بتحكم دقيق في نسبة الإثارة لتلبية معايير إثارة الليزر، وقد استُخدمت منتجات شركتنا على نطاق واسع في هذه المجالات.
على سبيل المثال،غاز فلوريد الأرجونفي ليزر الإكزيمر، يُخلط ويُثار لإنتاج شعاع فوق بنفسجي غير مرئي للعين المجردة، وله طول موجي قصير جدًا يبلغ 193 نانومترًا، ونفاذيته ضعيفة.
ليزرات الإكسيمر هي ليزرات غازية نبضية تُصدر نبضات فائقة القصر (مدة النبضة بيكو ثانية أو فيمتو ثانية). تُصدر هذه الليزرات ضوءًا فوق بنفسجيًا عالي الطاقة بطول موجي أقصر من 360 نانومتر. مصدر انبعاث الأشعة فوق البنفسجية هو تفريغ سريع في خليط عالي الضغط من نسب متساوية من غازات نادرة (مثل الهيليوم والنيون والأرجون والكريبتون، إلخ) وغازات هالوجين (مثل الفلور والكلور والبروم، إلخ).
في الوقت الحاضر، يمكننا تقديمغاز ArF المخلوط مسبقًالجميع العلامات التجارية تقريبًا من معدات الليزر الإكسمر الموجودة في السوق.
وقت النشر: ١٨ أكتوبر ٢٠٢٤