غاز الليزر

يُستخدم غاز الليزر بشكل أساسي في عمليات التلدين بالليزر وطباعة الليثوغرافيا في صناعة الإلكترونيات. وبفضل ابتكار شاشات الهواتف المحمولة وتوسع مجالات التطبيق، سيشهد سوق السيليكون متعدد التبلور منخفض الحرارة نموًا أكبر، وقد حسّنت عملية التلدين بالليزر أداء الترانزستورات الرقيقة (TFTs) بشكل ملحوظ. ومن بين غازات النيون والفلور والأرجون المستخدمة في ليزر الإكسيمر ArF لتصنيع أشباه الموصلات، يُشكّل النيون أكثر من 96% من خليط غاز الليزر. ومع تطور تكنولوجيا أشباه الموصلات، ازداد استخدام ليزرات الإكسيمر، وأدى إدخال تقنية التعريض المزدوج إلى زيادة حادة في الطلب على غاز النيون الذي تستهلكه ليزرات الإكسيمر ArF. وبفضل تشجيع توطين الغازات الإلكترونية المتخصصة، سيحظى المصنّعون المحليون بفرص نمو سوقية أفضل في المستقبل.

تُعدّ آلة الطباعة الحجرية من المعدات الأساسية في صناعة أشباه الموصلات، إذ تُحدد الطباعة الحجرية حجم الترانزستورات. ويُعتبر التطوير المتكامل لسلسلة صناعة الطباعة الحجرية مفتاحًا أساسيًا لتحقيق طفرة في هذا المجال. تتميز مواد أشباه الموصلات المُتوافقة، مثل المقاوم الضوئي وغاز الطباعة الحجرية الضوئية وقناع الطباعة الضوئية ومعدات الطلاء والتطوير، بمحتوى تقني عالٍ. يُستخدم غاز الطباعة الحجرية لتوليد أشعة الليزر فوق البنفسجية العميقة في آلة الطباعة الحجرية. وتُنتج أنواع مختلفة من غازات الطباعة الحجرية مصادر ضوئية بأطوال موجية مختلفة، ويؤثر طول الموجة بشكل مباشر على دقة آلة الطباعة الحجرية، وهو أحد أهم خصائصها. في عام 2020، بلغ إجمالي المبيعات العالمية لآلات الطباعة الحجرية 413 وحدة، منها 258 وحدة لشركة ASML بنسبة 62%، و122 وحدة لشركة Canon بنسبة 30%، و33 وحدة لشركة Nikon بنسبة 8%.