كلوريد الهيدروجينهو غاز عديم اللون مع رائحة نفاذة. يسمى المحلول المائي حمض الهيدروكلوريك ، والمعروف أيضًا باسم حمض الهيدروكلوريك. كلوريد الهيدروجين قابل للذوبان للغاية في الماء. عند 0 درجة مئوية ، يمكن لحجم واحد من الماء إذابة حوالي 500 مجلد من كلوريد الهيدروجين.

لديها الخصائص والخصائص التالية:

1. نقاء عالية

نقاء الصف الإلكترونيكلوريد الهيدروجينمرتفع جدًا ، عادة في PPM أو المستوى الأدنى ، لضمان عدم إدخال أي شروط في عملية تصنيع أشباه الموصلات.

2. القصور

إنه غاز خامل كيميائيًا لا يتفاعل مع العديد من المواد الأخرى ، وهو أمر مهم للغاية لمنع تلوث مواد وأشباه الموصلات.

3. الاستقرار العالي

الصف الإلكترونيكلوريد الهيدروجينعموما لديه كيمياء مستقرة لضمان معالجة أشباه الموصلات الموثوقة.

في معالجة أشباه الموصلات ، تشمل التطبيقات الرئيسية لكلوريد الهيدروجين من الدرجة الإلكترونية:

1. تنظيف السطح والتحضير

كنظافة سطحية فعالة ، الدرجة الإلكترونيةكلوريد الهيدروجينيستخدم لإزالة الأكاسيد والشوائب من سطح الركيزة لضمان جودة ونقاء الطبقة أو الفيلم الفوقي.

2. مساعدة النمو المحورية

يستخدم كعامل معالجة السطح في العملية الفوقية ، ويساعد على تحسين جودة الطبقة الفوقية ، وتحسين مطابقة الشبكة ، وتقليل تكوين عيوب شعرية.

3

قبل تحضير أجهزة أشباه الموصلات ، الصف الإلكترونيكلوريد الهيدروجينيمكن استخدامها لعلاج سطح الركيزة لتشكيل قاعدة مستقرة لتحسين الالتصاق بين الطبقة الفوقية والركيزة.

4. وكيل الإيداع

في عملية ترسب البخار الكيميائي (CVD) أو ترسب البخار الفيزيائي (PVD) ، يمكن استخدام كلوريد الهيدروجين من الدرجة الإلكترونية كوسيلة نقل طور الغاز للمشاركة في تفاعل ترسب مواد أشباه الموصلات.

5. عامل نقل مرحلة الغاز

كعامل نقل مرحلة الغاز ، يتم إدخال السلائف الغازية الأخرى في غرفة التفاعل للمساعدة في ضبط معدل الترسيب وتوحيد المادة.

هذه الخصائص تجعل الصف الإلكترونيكلوريد الهيدروجينعامل معالجة مهم في تقنية أشباه الموصلات ، والتي لها تأثير رئيسي على أداء وموثوقية الجهاز النهائي.

بالإضافة إلى استخدامه في معالجة أشباه الموصلات ، يمكن أن يجد كلوريد الهيدروجين من الدرجة الإلكترونية مجموعة متنوعة من الاستخدامات في مناطق أخرى ، بما في ذلك: إعداد مواد نقاء عالية ، وخلايا الوقود ، ونمو مواد أشباه الموصلات ، وطبقة البخار ، وتحليل المواد ، والبحث الكيميائي.

بشكل عام ، الصف الإلكترونيكلوريد الهيدروجينهو غاز نقاء متعدد الاستخدامات يحتوي على مجموعة واسعة من التطبيقات خارج تصنيع أشباه الموصلات.