تحافظ صناعة أشباه الموصلات والألواح في بلدنا على مستوى عالٍ من الازدهار. ويتمتع ثلاثي فلوريد النيتروجين، باعتباره غازًا إلكترونيًا خاصًا لا غنى عنه وذو حجم كبير في إنتاج ومعالجة الألواح وأشباه الموصلات، بسوق واسعة.
تشمل الغازات الإلكترونية الخاصة المحتوية على الفلور المستخدمة بشكل شائع ما يلي:سداسي فلوريد الكبريت (SF6)، سداسي فلوريد التنغستن (WF6)،رباعي فلوريد الكربون (CF4)ثلاثي فلورو الميثان (CHF3)، ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)، سداسي فلورو الإيثان (C2F6)، وثماني فلورو البروبان (C3F8). يُستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3) بشكل رئيسي كمصدر للفلور في الليزرات الكيميائية عالية الطاقة التي تعتمد على غاز فلوريد الهيدروجين-الفلوريد. يمكن لإشعاع الليزر إطلاق الجزء الفعال (حوالي 25%) من طاقة التفاعل بين H2-O2 وF2، لذا تُعد ليزرات HF-OF من أكثر الليزرات الكيميائية الواعدة.
ثلاثي فلوريد النيتروجين غاز ممتاز لنقش البلازما في صناعة الإلكترونيات الدقيقة. يتميز ثلاثي فلوريد النيتروجين، عند نقش السيليكون ونتريد السيليكون، بمعدل نقش وانتقائية أعلى من رباعي فلوريد الكربون وخليط من رباعي فلوريد الكربون والأكسجين، ولا يُسبب تلوثًا للسطح. وخاصةً في نقش مواد الدوائر المتكاملة التي يقل سمكها عن 1.5 ميكرومتر، يتميز ثلاثي فلوريد النيتروجين بمعدل نقش وانتقائية ممتازين، ولا يترك أي بقايا على سطح المادة المحفورة، كما أنه عامل تنظيف ممتاز. مع تطور تكنولوجيا النانو والتطور الواسع لصناعة الإلكترونيات، سيزداد الطلب عليه يومًا بعد يوم.
ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)، وهو نوع من الغازات الخاصة المحتوية على الفلور، يُعدّ أكبر منتج غازي إلكتروني خاص متوفر في السوق. يتميز بخموله الكيميائي في درجة حرارة الغرفة، وهو أكثر نشاطًا من الأكسجين، وأكثر استقرارًا من الفلور، وسهل الاستخدام في درجات الحرارة العالية.
يستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين بشكل أساسي كغاز لحفر البلازما وعامل تنظيف غرفة التفاعل، وهو مناسب لمجالات التصنيع مثل رقائق أشباه الموصلات وشاشات العرض المسطحة والألياف البصرية والخلايا الكهروضوئية وما إلى ذلك.
بالمقارنة مع الغازات الإلكترونية الأخرى المحتوية على الفلور، يتمتع ثلاثي فلوريد النيتروجين بمزايا التفاعل السريع والكفاءة العالية، خاصة في نقش المواد المحتوية على السيليكون مثل نتريد السيليكون، وله معدل نقش وانتقائية عالية، ولا يترك أي بقايا على سطح الكائن المحفور، وهو أيضًا عامل تنظيف جيد جدًا، وهو غير ملوث للسطح ويمكنه تلبية احتياجات عملية المعالجة.
وقت النشر: ٢٦ ديسمبر ٢٠٢٤
