أكبر كمية من الغاز الإلكتروني الخاص - ثلاثي فلوريد النيتروجين NF3

تحافظ صناعة أشباه الموصلات في بلدنا على مستوى عالٍ من الرخاء. يحتوي Trifluoride النيتروجيني ، باعتباره غازًا إلكترونيًا خاصًا لا غنى عنه وأكبر حجم في إنتاج ومعالجة الألواح وأشباه الموصلات ، على مساحة واسعة في السوق.

تشمل الغازات الإلكترونية الخاصة التي تحتوي على الفلور بشكل شائعالكبريت سداسي فلوريد (SF6)، Tungsten hexafluoride (WF6) ،كربون رباعي فلوريد (CF4)، trifluoromethane (CHF3) ، trifluoride النيتروجين (NF3) ، Hexafluoroethane (C2F6) و Octafluoropropane (C3F8). يستخدم Trifluoride النيتروجين (NF3) بشكل أساسي كمصدر للفلور لليزر الكيميائي للفلورايد-فلوريد الفلوريد. يمكن إطلاق الجزء الفعال (حوالي 25 ٪) من طاقة التفاعل بين H2-O2 و F2 عن طريق إشعاع الليزر ، وبالتالي فإن الليزر HF هي أكثر الليزر الواعدة بين الليزر الكيميائي.

Trifluoride النيتروجين هو غاز ممتاز لحفر البلازما في صناعة الإلكترونيات الدقيقة. للحفر السيليكون ونيتريد السيليكون ، فإن ثلاثي فلوريد النيتروجين لديه معدل نقش أعلى وانتقائية من رباعي الستراتفلورايد الكربوني ومزيج من رباعي السترافلورايد والأكسجين الكربوني ، وليس له تلوث على السطح. لا سيما في حفر مواد الدائرة المتكاملة بسمك أقل من 1.5um ، فإن ثلاثي فلوريد النيتروجين لديه معدل نقش ممتاز للغاية وانتقائية ، ولا يترك أي بقايا على سطح الكائن المحفور ، وهو أيضًا عامل تنظيف جيد جدًا. مع تطوير تقنية النانو والتنمية الواسعة النطاق لصناعة الإلكترونيات ، سيزداد طلبها يومًا بعد يوم.

كنوع من الغاز الخاص المحتوي على الفلور ، يعد Trifluoride النيتروجين (NF3) أكبر منتج غاز إلكتروني خاص في السوق. إنه خامل كيميائيًا في درجة حرارة الغرفة ، وأكثر نشاطًا من الأكسجين ، وأكثر استقرارًا من الفلور ، ويسهل التعامل معه عند درجة حرارة عالية.

يستخدم Trifluoride النيتروجين بشكل أساسي كعامل تنظيف الغاز والتفاعل في غرفة التفاعل ، وهو مناسب لحقول التصنيع مثل رقائق أشباه الموصلات ، وعروض اللوحة المسطحة ، والألياف البصرية ، والخلايا الكهروضوئية ، وما إلى ذلك ، إلخ.

مقارنة مع الغازات الإلكترونية الأخرى المحتوية على الفلور ، فإن ثلاثي فلوريد النيتروجين لديه مزايا التفاعل السريع والكفاءة العالية ، وخاصة في حفر المواد التي تحتوي على السيليكون مثل نيتريد السيليكون ، فإنه يتمتع أيضًا بتلبية معدلات النقش والانتقائية ، ولا تترك أي بقايا على سطح الكائن المحفور ، وهو أيضًا عامل تنظيف جيد للغاية.