أكبر كمية من الغاز الإلكتروني الخاص – ثلاثي فلوريد النيتروجين NF3

تتمتع صناعة أشباه الموصلات وصناعة الشاشات في بلادنا بمستوى عالٍ من الازدهار. ويحظى ثلاثي فلوريد النيتروجين، باعتباره غازًا إلكترونيًا خاصًا لا غنى عنه وأكبر حجمًا في إنتاج ومعالجة الشاشات وأشباه الموصلات، بمكانة سوقية واسعة.

تشمل الغازات الإلكترونية الخاصة المحتوية على الفلور شائعة الاستخدام ما يلي:سداسي فلوريد الكبريت (SF6)، سداسي فلوريد التنغستن (WF6)،رابع فلوريد الكربون (CF4)تشمل هذه المواد ثلاثي فلورو الميثان (CHF3)، وثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)، وسداسي فلورو الإيثان (C2F6)، وثماني فلورو البروبان (C3F8). يُستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3) بشكل أساسي كمصدر للفلور في ليزرات غاز فلوريد الهيدروجين-الفلوريد الكيميائية عالية الطاقة. يمكن إطلاق الجزء الفعال (حوالي 25%) من طاقة التفاعل بين H2-O2 وF2 بواسطة إشعاع الليزر، ولذلك تُعد ليزرات HF-OF من أكثر أنواع الليزرات الكيميائية الواعدة.

يُعدّ ثلاثي فلوريد النيتروجين غازًا ممتازًا للحفر بالبلازما في صناعة الإلكترونيات الدقيقة. ففي حفر السيليكون ونيتريد السيليكون، يتميز ثلاثي فلوريد النيتروجين بمعدل حفر وانتقائية أعلى من رباعي فلوريد الكربون ومزيج رباعي فلوريد الكربون والأكسجين، كما أنه لا يُلوّث السطح. ويُظهر ثلاثي فلوريد النيتروجين، خاصةً في حفر مواد الدوائر المتكاملة التي يقل سمكها عن 1.5 ميكرومتر، معدل حفر وانتقائية فائقين، دون ترك أي بقايا على سطح المادة المحفورة، كما أنه عامل تنظيف ممتاز. ومع تطور تقنية النانو والتوسع الكبير في صناعة الإلكترونيات، سيزداد الطلب عليه يومًا بعد يوم.

يُعدّ ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)، وهو نوع من الغازات الخاصة المحتوية على الفلور، المنتج الأكبر من نوعه في سوق الغازات الإلكترونية الخاصة. وهو خامل كيميائياً في درجة حرارة الغرفة، وأكثر نشاطاً من الأكسجين، وأكثر استقراراً من الفلور، وسهل التعامل معه في درجات الحرارة العالية.

يستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين بشكل أساسي كغاز حفر البلازما وعامل تنظيف غرفة التفاعل، وهو مناسب لمجالات التصنيع مثل رقائق أشباه الموصلات وشاشات العرض المسطحة والألياف البصرية والخلايا الكهروضوئية وما إلى ذلك.

بالمقارنة مع الغازات الإلكترونية الأخرى المحتوية على الفلور، يتميز ثلاثي فلوريد النيتروجين بمزايا التفاعل السريع والكفاءة العالية، وخاصة في حفر المواد المحتوية على السيليكون مثل نتريد السيليكون، حيث يتميز بمعدل حفر وانتقائية عاليين، ولا يترك أي بقايا على سطح الجسم المحفور، كما أنه عامل تنظيف جيد للغاية، وغير ملوث للسطح ويمكنه تلبية احتياجات عملية المعالجة.