أكثر الغازات الإلكترونية الخاصة استخدامًا - ثلاثي فلوريد النيتروجين

تشمل الغازات الإلكترونية الخاصة الشائعة التي تحتوي على الفلور ما يلي:سداسي فلوريد الكبريت (SF6)، سداسي فلوريد التنغستن (WF6)،رابع فلوريد الكربون (CF4)، ثلاثي فلورو الميثان (CHF3)، ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)، سداسي فلورو الإيثان (C2F6) وثماني فلورو البروبان (C3F8).

مع تطور تقنية النانو والنمو الهائل لصناعة الإلكترونيات، سيزداد الطلب على ثلاثي فلوريد النيتروجين يومًا بعد يوم. ويُعدّ هذا الغاز الإلكتروني الخاص، الذي لا غنى عنه والأكثر استخدامًا في إنتاج ومعالجة الألواح وأشباه الموصلات، ذا سوق واسعة.

باعتباره نوعًا من الغازات الخاصة المحتوية على الفلور،ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)يُعدّ ثلاثي فلوريد النيتروجين المنتج الغازي الإلكتروني الخاص ذو أكبر حصة سوقية. وهو خامل كيميائيًا في درجة حرارة الغرفة، وأكثر نشاطًا من الأكسجين في درجات الحرارة العالية، وأكثر استقرارًا من الفلور، وسهل الاستخدام. يُستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين بشكل أساسي كغاز حفر بالبلازما وعامل تنظيف لغرف التفاعل، وهو مناسب لمجالات تصنيع رقائق أشباه الموصلات، وشاشات العرض المسطحة، والألياف الضوئية، والخلايا الكهروضوئية، وغيرها.

بالمقارنة مع الغازات الإلكترونية الأخرى المحتوية على الفلور،ثلاثي فلوريد النيتروجينيتميز هذا المنتج بسرعة التفاعل وكفاءته العالية. خاصةً في عملية حفر المواد المحتوية على السيليكون، مثل نتريد السيليكون، حيث يتمتع بمعدل حفر وانتقائية عاليين، ولا يترك أي بقايا على سطح المادة المحفورة. كما أنه عامل تنظيف ممتاز ولا يسبب أي تلوث للسطح، مما يلبي متطلبات عملية المعالجة.