أكثر الغازات الإلكترونية استخدام - ثلاثي فلوريد النيتروجين

تشمل الغازات الإلكترونية الخاصة التي تحتوي على الفلور الشائعةالكبريت سداسي فلوريد (SF6)، Tungsten hexafluoride (WF6) ،كربون رباعي فلوريد (CF4)، trifluoromethane (CHF3) ، trifluoride النيتروجين (NF3) ، Hexafluoroethane (C2F6) و Octafluoropropane (C3F8).

مع تطوير تقنية النانو والتنمية الواسعة النطاق لصناعة الإلكترونيات ، سيزداد طلبها يومًا بعد يوم. يحتوي Trifluoride النيتروجيني ، باعتباره غازًا إلكترونيًا خاصًا لا غنى عنه وأكبر استخدام في إنتاج ومعالجة الألواح وأشباه الموصلات ، على مساحة واسعة في السوق.

كنوع من الغاز الخاص المحتوي على الفلور ،ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)هو منتج الغاز الخاص الإلكترونية مع أكبر سعة السوق. إنه خامل كيميائيًا في درجة حرارة الغرفة ، وأكثر نشاطًا من الأكسجين في درجة حرارة عالية ، وأكثر استقرارًا من الفلور ، وسهلة التعامل. يستخدم Trifluoride النيتروجين بشكل أساسي كغاز يحفر البلازما وعامل تنظيف غرفة التفاعل ، وهو مناسب لحقول تصنيع رقائق أشباه الموصلات ، وعروض اللوحة المسطحة ، والألياف البصرية ، والخلايا الكهروضوئية ، وما إلى ذلك.

مقارنة مع الغازات الإلكترونية الأخرى التي تحتوي على الفلور ،ثلاثي فلوريد النيتروجينلديه مزايا رد الفعل السريع والكفاءة العالية. خاصة في حفر المواد التي تحتوي على السيليكون مثل نيتريد السيليكون ، فإنه يحتوي على معدل نقش مرتفع وانتقائية ، ولا يترك أي بقايا على سطح الكائن المحفور. إنه أيضًا عامل تنظيف جيد للغاية وليس له تلوث على السطح ، والذي يمكن أن يلبي احتياجات عملية المعالجة.