تشمل الغازات الإلكترونية الخاصة المحتوية على الفلور الشائعة ما يلي:سداسي فلوريد الكبريت (SF6)، سداسي فلوريد التنغستن (WF6)،رباعي فلوريد الكربون (CF4)، ثلاثي فلورو الميثان (CHF3)، وثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)، وسداسي فلورو الإيثان (C2F6)، وثماني فلورو البروبان (C3F8).
مع تطور تكنولوجيا النانو والنمو الواسع لصناعة الإلكترونيات، سيزداد الطلب عليها يومًا بعد يوم. ويتمتع ثلاثي فلوريد النيتروجين، باعتباره غازًا إلكترونيًا خاصًا لا غنى عنه وأكثر استخدامًا في إنتاج ومعالجة الألواح وأشباه الموصلات، بسوق واسعة.
كنوع من الغازات الخاصة التي تحتوي على الفلور،ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)هو منتج غاز إلكتروني خاص يتمتع بأكبر سعة تسويقية. يتميز بخموله الكيميائي في درجة حرارة الغرفة، ونشاطه أعلى من الأكسجين في درجات الحرارة العالية، واستقراره أعلى من الفلور، وسهولة استخدامه. يُستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين بشكل رئيسي كغاز لنقش البلازما وعامل تنظيف لغرف التفاعل، وهو مناسب لتصنيع رقائق أشباه الموصلات، وشاشات العرض المسطحة، والألياف البصرية، والخلايا الكهروضوئية، وغيرها.
بالمقارنة مع الغازات الإلكترونية الأخرى المحتوية على الفلور،ثلاثي فلوريد النيتروجينيتميز بسرعة التفاعل والكفاءة العالية. وخاصةً في نقش المواد المحتوية على السيليكون، مثل نيتريد السيليكون، يتميز بمعدل نقش وانتقائية عاليين، فلا يترك أي بقايا على سطح المادة المحفورة. كما أنه عامل تنظيف ممتاز، ولا يُسبب أي تلوث للسطح، مما يُلبي احتياجات عملية المعالجة.
وقت النشر: ١٤ سبتمبر ٢٠٢٤
