الغاز الإلكتروني الخاص الأكثر استخدامًا هو ثلاثي فلوريد النيتروجين

تشمل الغازات الإلكترونية الخاصة الشائعة المحتوية على الفلورسداسي فلوريد الكبريت (SF6)، سداسي فلوريد التنغستن (WF6)،رباعي فلوريد الكربون (CF4)وثلاثي فلورو الميثان (CHF3)، وثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)، وسداسي فلورو الإيثان (C2F6)، وثماني فلورو البروبان (C3F8).

ومع تطور تكنولوجيا النانو والتطور الواسع النطاق لصناعة الإلكترونيات، سيزداد الطلب عليها يوما بعد يوم. يتمتع ثلاثي فلوريد النيتروجين، باعتباره غازًا إلكترونيًا خاصًا لا غنى عنه والأكثر استخدامًا في إنتاج ومعالجة الألواح وأشباه الموصلات، بمساحة سوقية واسعة.

كنوع من الغازات الخاصة التي تحتوي على الفلور،ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3)هو منتج الغاز الإلكتروني الخاص الذي يتمتع بأكبر سعة سوقية. وهو خامل كيميائيا في درجة حرارة الغرفة، وأكثر نشاطا من الأكسجين في درجات الحرارة العالية، وأكثر استقرارا من الفلور، وسهل التعامل معه. يستخدم ثلاثي فلوريد النيتروجين بشكل رئيسي كغاز حفر البلازما وعامل تنظيف غرفة التفاعل، وهو مناسب لمجالات تصنيع رقائق أشباه الموصلات، وشاشات العرض المسطحة، والألياف الضوئية، والخلايا الكهروضوئية، وما إلى ذلك.

بالمقارنة مع الغازات الإلكترونية الأخرى التي تحتوي على الفلور،ثلاثي فلوريد النيتروجينلديه مزايا رد الفعل السريع والكفاءة العالية. خاصة في نقش المواد المحتوية على السيليكون مثل نيتريد السيليكون، فهو يتميز بمعدل نقش مرتفع وانتقائية، ولا يترك أي بقايا على سطح الجسم المحفور. وهو أيضًا عامل تنظيف جيد جدًا وليس له أي تلوث على السطح، مما يمكنه تلبية احتياجات عملية المعالجة.