يتم ترسيب Tungsten Hexafluoride (WF6) على سطح الرقاقة من خلال عملية CVD ، وملء خنادق الترابط المعدني ، وتشكيل الترابط المعدني بين الطبقات.
لنتحدث عن البلازما أولاً. البلازما هي شكل من أشكال المادة التي تتكون أساسا من الإلكترونات الحرة والأيونات المشحونة. إنه موجود على نطاق واسع في الكون وغالبًا ما يعتبر الحالة الرابعة للمادة. ويسمى حالة البلازما ، وتسمى أيضا "البلازما". البلازما لديها توصيل كهربائي عالية ولها تأثير اقتران قوي مع المجال الكهرومغناطيسي. إنه غاز مؤين جزئيًا ، يتكون من الإلكترونات والأيونات والجذور الحرة والجزيئات المحايدة والفوتونات. البلازما نفسها عبارة عن خليط محايد كهربائيًا يحتوي على جزيئات نشطة جسديًا وكيميائيًا.
التفسير المباشر هو أنه في ظل عمل الطاقة العالية ، سيتغلب الجزيء على قوة Van der Waals ، وقوة الرابطة الكيميائية وقوة Coulomb ، وتقديم شكل من أشكال الكهرباء المحايدة ككل. في الوقت نفسه ، تتغلب الطاقة العالية التي ينقلها الخارج على القوى الثلاث المذكورة أعلاه. تقدم الوظيفة والإلكترونات والأيونات حالة حرة ، والتي يمكن استخدامها بشكل مصطنع تحت تعديل مجال مغناطيسي ، مثل عملية حفر أشباه الموصلات ، وعملية الأمراض القلبية الوعائية ، وعملية PVD وعملية IMP.
ما هي الطاقة العالية؟ من الناحية النظرية ، يمكن استخدام كل من ارتفاع درجة الحرارة وارتفاع التردد الترددات الترددات الترددات الترددات الترويجية. بشكل عام ، يكاد يكون من المستحيل تحقيق درجة الحرارة المرتفعة. متطلبات درجة الحرارة هذه مرتفعًا جدًا وقد تكون قريبة من درجة حرارة الشمس. من المستحيل في الأساس تحقيقه في هذه العملية. لذلك ، عادة ما تستخدم الصناعة RF عالية التردد لتحقيق ذلك. يمكن أن تصل البلازما RF إلى ارتفاع 13 ميجا هرتز+.
تونغستن سداسي فلوريد هو بلازما تحت عمل حقل كهربائي ، ثم بخار من قبل مجال مغناطيسي. تتشابه ذرات W الريش في فصل الشتاء وتسقط على الأرض تحت عمل الجاذبية. ببطء ، يتم إيداع ذرات W في الثقوب من خلال ، وأخيراً تملأها الثقوب لتشكيل ترابط معدني. بالإضافة إلى إيداع ذرات W في الثقوب من خلال ، هل سيتم إيداعها أيضًا على سطح الرقاقة؟ نعم بالتأكيد. بشكل عام ، يمكنك استخدام عملية W-CMP ، وهو ما نسميه عملية الطحن الميكانيكية لإزالتها. يشبه استخدام مكنسة لاكتساح الأرض بعد الثلج الكثيف. يتم جرف الثلج على الأرض ، لكن الثلج الموجود في الحفرة على الأرض سيبقى. لأسفل ، تقريبا نفس الشيء.
وقت النشر: ديسمبر -24-2021
