يتم ترسيب سداسي فلوريد التنغستن (WF6) على سطح الرقاقة من خلال عملية CVD، وملء خنادق الترابط المعدني، وتشكيل الترابط المعدني بين الطبقات.
دعونا نتحدث عن البلازما أولا. البلازما هي شكل من أشكال المادة يتكون أساسًا من إلكترونات حرة وأيونات مشحونة. وهي موجودة على نطاق واسع في الكون وغالبا ما تعتبر الحالة الرابعة للمادة. وتسمى حالة البلازما، وتسمى أيضًا "البلازما". تتمتع البلازما بموصلية كهربائية عالية ولها تأثير اقتران قوي مع المجال الكهرومغناطيسي. وهو غاز متأين جزئيا، ويتكون من الإلكترونات والأيونات والجذور الحرة والجسيمات المحايدة والفوتونات. البلازما نفسها عبارة عن خليط محايد كهربائيًا يحتوي على جزيئات نشطة فيزيائيًا وكيميائيًا.
التفسير المباشر هو أنه تحت تأثير الطاقة العالية، سيتغلب الجزيء على قوة فان دير فالس، وقوة الرابطة الكيميائية، وقوة كولوم، ويقدم شكلاً من أشكال الكهرباء المحايدة ككل. وفي الوقت نفسه، تتغلب الطاقة العالية المنبعثة من الخارج على القوى الثلاث المذكورة أعلاه. الوظيفة، تمثل الإلكترونات والأيونات حالة حرة، والتي يمكن استخدامها بشكل مصطنع تحت تعديل المجال المغناطيسي، مثل عملية حفر أشباه الموصلات، وعملية CVD، وعملية PVD وIMP.
ما هي الطاقة العالية؟ من الناحية النظرية، يمكن استخدام كل من درجات الحرارة العالية والترددات اللاسلكية العالية. بشكل عام، يكاد يكون من المستحيل تحقيق درجة حرارة عالية. متطلبات درجة الحرارة هذه مرتفعة جدًا وقد تكون قريبة من درجة حرارة الشمس. من المستحيل تحقيقه في هذه العملية. ولذلك، تستخدم الصناعة عادة الترددات اللاسلكية عالية التردد لتحقيق ذلك. يمكن أن يصل تردد البلازما RF إلى 13 ميجاهرتز+.
يتم بلازما سداسي فلوريد التنغستن تحت تأثير مجال كهربائي، ثم يتم ترسيبه بخارًا بواسطة مجال مغناطيسي. تشبه ذرات W ريش الإوز الشتوي وتسقط على الأرض تحت تأثير الجاذبية. ببطء، يتم ترسيب ذرات W في الثقوب، وفي النهاية يتم ملؤها بالكامل من خلال الثقوب لتكوين وصلات معدنية. بالإضافة إلى ترسيب ذرات W في الثقوب، هل سيتم ترسيبها أيضًا على سطح الرقاقة؟ نعم بالتأكيد. بشكل عام، يمكنك استخدام عملية W-CMP، وهي ما نسميها عملية الطحن الميكانيكية للإزالة. إنه مشابه لاستخدام المكنسة لكنس الأرض بعد تساقط الثلوج بكثافة. يتم إزالة الثلج الموجود على الأرض، لكن الثلج الموجود في الحفرة الموجودة على الأرض سيبقى. إلى الأسفل، نفس الشيء تقريبًا.
وقت النشر: 24 ديسمبر 2021
