يتم ترسيب سداسي فلوريد التنغستن (WF6) على سطح الرقاقة من خلال عملية الترسيب الكيميائي البخاري، وملء خنادق الربط المعدني، وتشكيل الربط المعدني بين الطبقات.
لنتحدث أولاً عن البلازما. البلازما مادة تتكون أساسًا من إلكترونات حرة وأيونات مشحونة. توجد على نطاق واسع في الكون، وغالبًا ما تُعتبر الحالة الرابعة للمادة. تُسمى أيضًا "البلازما". تتميز البلازما بموصلية كهربائية عالية، ولها تأثير اقتران قوي مع المجال الكهرومغناطيسي. وهي غاز متأين جزئيًا، يتكون من إلكترونات وأيونات وجذور حرة وجسيمات متعادلة وفوتونات. البلازما نفسها خليط متعادل كهربائيًا يحتوي على جسيمات نشطة فيزيائيًا وكيميائيًا.
التفسير المباشر هو أنه تحت تأثير الطاقة العالية، سيتغلب الجزيء على قوة فان دير فالس، وقوة الرابطة الكيميائية، وقوة كولومب، ويُنتج شكلاً من أشكال الكهرباء المتعادلة. في الوقت نفسه، تتغلب الطاقة العالية المنبعثة من الخارج على القوى الثلاث المذكورة أعلاه. تُشكل الدالة والإلكترونات والأيونات حالة حرة، يمكن استخدامها اصطناعيًا تحت تأثير المجال المغناطيسي، مثل عمليات نقش أشباه الموصلات، وعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترشيح الفيزيائي للبخار (PVD)، وعمليات التحلل الحراري للبلازما (IMP).
ما هي الطاقة العالية؟ نظريًا، يمكن استخدام كلٍّ من الترددات الراديوية عالية الحرارة والترددات العالية. عمومًا، يكاد يكون من المستحيل تحقيق درجة حرارة عالية. هذه الدرجة الحرارية المطلوبة مرتفعة جدًا، وقد تكون قريبة من درجة حرارة الشمس. من المستحيل تحقيقها عمليًا في هذه العملية. لذلك، عادةً ما تستخدم الصناعة الترددات الراديوية عالية التردد لتحقيقها. يمكن أن يصل تردد البلازما إلى 13 ميجاهرتز فأكثر.
يُحَلُّ سداسي فلوريد التنغستن إلى بلازما تحت تأثير مجال كهربائي، ثم يُرَسَّب بخارًا بواسطة مجال مغناطيسي. تُشبه ذرات W ريش الإوز الشتوي، وتسقط على الأرض بفعل الجاذبية. تترسب ذرات W ببطء في الثقوب البينية، وتُملأ أخيرًا بالثقوب البينية الكاملة لتكوين وصلات معدنية. بالإضافة إلى ترسب ذرات W في الثقوب البينية، هل ستترسب أيضًا على سطح الرقاقة؟ نعم، بالتأكيد. بشكل عام، يُمكنك استخدام عملية W-CMP، وهي ما نُسميه عملية الطحن الميكانيكي للإزالة. إنها تُشبه استخدام مكنسة لكنس الأرض بعد تساقط ثلوج كثيفة. يُكنس الثلج الموجود على الأرض، لكن الثلج الموجود في الحفرة على الأرض سيبقى. للأسفل، تقريبًا كما هو.
وقت النشر: ٢٤ ديسمبر ٢٠٢١
