إلكترونيالغازات الخاصةتُعدُّ فرعًا هامًا من الغازات الخاصة. فهي تتغلغل في كل حلقة تقريبًا من إنتاج أشباه الموصلات، وتُعَدُّ مواد خام لا غنى عنها في الصناعات الإلكترونية، مثل الدوائر المتكاملة فائقة الحجم، وأجهزة العرض المسطحة، والخلايا الشمسية.

في تكنولوجيا أشباه الموصلات، تُستخدم الغازات المحتوية على الفلور على نطاق واسع. حاليًا، تُشكل هذه الغازات حوالي 30% من إجمالي سوق الغازات الإلكترونية العالمية. تُعدّ هذه الغازات مُكوّنًا أساسيًا للغازات الإلكترونية الخاصة في مجال مواد المعلومات الإلكترونية. تُستخدم بشكل رئيسي كمواد تنظيف وحفر، كما يُمكن استخدامها كمُضافات، ومواد لتشكيل الأغشية، وغيرها. في هذه المقالة، سيُعرّفك الكاتب على الغازات الشائعة المحتوية على الفلور.

فيما يلي الغازات المحتوية على الفلور المستخدمة بشكل شائع:

ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3): غاز يستخدم في التنظيف وإزالة الرواسب، ويستخدم عادة لتنظيف غرف التفاعل وأسطح المعدات.

سداسي فلوريد الكبريت (SF6):عامل فلورة يستخدم في عمليات ترسيب الأكسيد وكغاز عازل لملء الوسائط العازلة.

فلوريد الهيدروجين (HF): يستخدم لإزالة الأكاسيد من سطح السيليكون كمادة خاملة لحفر السيليكون والمواد الأخرى.

فلوريد النيتروجين (NF): يستخدم لنقش المواد مثل نتريد السيليكون (SiN) ونتريد الألومنيوم (AlN).

ثلاثي فلورو الميثان (CHF3) ورباعي فلورو الميثان (CF4):يستخدم لنقش المواد الفلورية مثل فلوريد السيليكون وفلوريد الألومنيوم.

ومع ذلك، فإن الغازات التي تحتوي على الفلور لها مخاطر معينة، بما في ذلك السمية، والتآكل، والاشتعال.

سمية

بعض الغازات التي تحتوي على الفلور سامة، مثل فلوريد الهيدروجين (HF)، الذي يسبب بخاره تهيجًا شديدًا للجلد والجهاز التنفسي ويضر بصحة الإنسان.

التآكل

يعتبر فلوريد الهيدروجين وبعض الفلوريدات شديدة التآكل ويمكن أن تسبب أضرارًا خطيرة للجلد والعينين والجهاز التنفسي.

قابلية الاشتعال

بعض الفلورايدات قابلة للاشتعال وتتفاعل مع الأكسجين أو الماء في الهواء لتصدر حرارة شديدة وغازات سامة، مما قد يسبب حريقًا أو انفجارًا.

خطر الضغط العالي

بعض الغازات المفلورة قابلة للانفجار تحت ضغط مرتفع وتتطلب عناية خاصة عند استخدامها وتخزينها.

التأثير على البيئة

تتمتع الغازات المحتوية على الفلور بعمر جوي مرتفع وقيم GWP عالية، مما يؤثر بشكل مدمر على طبقة الأوزون في الغلاف الجوي وقد يتسبب في الاحتباس الحراري والتلوث البيئي.

يتزايد استخدام الغازات في المجالات الناشئة، مثل الإلكترونيات، بشكل متزايد، مما يؤدي إلى زيادة كبيرة في الطلب على الغازات الصناعية. واستنادًا إلى الطاقة الإنتاجية الكبيرة للمكونات الإلكترونية الرئيسية، مثل أشباه الموصلات وشاشات العرض، في الصين القارية خلال السنوات القليلة المقبلة، بالإضافة إلى الطلب القوي على المواد الكيميائية الإلكترونية البديلة للواردات، ستشهد صناعة الغازات الإلكترونية المحلية نموًا سريعًا.