الكترونيةغازات خاصةهي فرع مهم من الغازات الخاصة. إنها تخترق كل وصلات إنتاج أشباه الموصلات تقريبًا، وهي مواد خام لا غنى عنها لإنتاج الصناعات الإلكترونية مثل الدوائر المتكاملة واسعة النطاق، وأجهزة العرض المسطحة، والخلايا الشمسية.

في تكنولوجيا أشباه الموصلات، يتم استخدام الغازات المحتوية على الفلور على نطاق واسع. حاليًا، في سوق الغاز الإلكتروني العالمي، تمثل الغازات الإلكترونية المحتوية على الفلور حوالي 30٪ من الإجمالي. تعتبر الغازات الإلكترونية المحتوية على الفلور مكونًا مهمًا للغازات الإلكترونية الخاصة في مجال مواد المعلومات الإلكترونية. يتم استخدامها بشكل أساسي كعوامل تنظيف وعوامل نقش، ويمكن استخدامها أيضًا كمواد منشطة أو مواد لتشكيل الأفلام، وما إلى ذلك. في هذه المقالة، سيأخذك المؤلف لفهم الغازات الشائعة المحتوية على الفلور.

وفيما يلي الغازات التي تحتوي على الفلور شائعة الاستخدام

ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3): غاز يستخدم لتنظيف وإزالة الرواسب، ويستخدم عادة لتنظيف غرف التفاعل وأسطح المعدات.

سداسي فلوريد الكبريت (SF6): عامل مفلور يستخدم في عمليات ترسيب الأكسيد وكغاز عازل لملء الوسائط العازلة.

فلوريد الهيدروجين (HF): يستخدم لإزالة الأكاسيد من سطح السيليكون وكمادة نقش لحفر السيليكون والمواد الأخرى.

فلوريد النيتروجين (NF): يستخدم لحفر المواد مثل نيتريد السيليكون (SiN) ونيتريد الألومنيوم (AlN).

ثلاثي فلورو الميثان (CHF3) ورباعي فلورو الميثان (CF4): يستخدم لحفر مواد الفلورايد مثل فلوريد السيليكون وفلوريد الألومنيوم.

ومع ذلك، فإن الغازات المحتوية على الفلور لها مخاطر معينة، بما في ذلك السمية والتآكل والقابلية للاشتعال.

سمية

بعض الغازات التي تحتوي على الفلور تكون سامة، مثل فلوريد الهيدروجين (HF)، الذي يعد بخاره مهيجًا للغاية للجلد والجهاز التنفسي ومضرًا بصحة الإنسان.

التآكل

فلوريد الهيدروجين وبعض الفلوريدات شديدة التآكل ويمكن أن تسبب أضرارًا جسيمة للجلد والعينين والجهاز التنفسي.

القابلية للاشتعال

بعض الفلوريدات قابلة للاشتعال وتتفاعل مع الأكسجين أو الماء الموجود في الهواء لتطلق حرارة شديدة وغازات سامة قد تسبب حريقًا أو انفجارًا.

خطر الضغط العالي

تنفجر بعض الغازات المفلورة تحت ضغط عالٍ وتتطلب عناية خاصة عند استخدامها وتخزينها.

التأثير على البيئة

تتمتع الغازات المحتوية على الفلور بعمر مرتفع في الغلاف الجوي وقيم قدرة على إحداث الاحترار العالمي، مما يكون له تأثير مدمر على طبقة الأوزون في الغلاف الجوي وقد يسبب الاحتباس الحراري والتلوث البيئي.

يستمر تطبيق الغازات في المجالات الناشئة مثل الإلكترونيات في التعمق، مما يجلب كمية كبيرة من الطلب الجديد على الغازات الصناعية. استنادًا إلى الكمية الكبيرة من الطاقة الإنتاجية الجديدة للمكونات الإلكترونية الرئيسية مثل أشباه الموصلات ولوحات العرض في البر الرئيسي للصين في السنوات القليلة المقبلة، فضلاً عن الطلب القوي على استبدال الواردات من المواد الكيميائية الإلكترونية، فإن صناعة الغاز الإلكترونية المحلية ستبدأ معدل نمو مرتفع.