إلكترونيغازات خاصةهي فرع مهم من الغازات الخاصة. إنها تخترق تقريبًا كل رابط لإنتاج أشباه الموصلات ويكونون مواد خام لا غنى عنه لإنتاج الصناعات الإلكترونية مثل الدوائر المتكاملة على نطاق الزهور ، وأجهزة عرض اللوحة المسطحة ، والخلايا الشمسية.

في تكنولوجيا أشباه الموصلات ، يتم استخدام الغازات التي تحتوي على الفلور على نطاق واسع. حاليًا ، في سوق الغاز الإلكتروني العالمي ، تمثل الغازات الإلكترونية التي تحتوي على الفلور حوالي 30 ٪ من المجموع. تعد الغازات الإلكترونية التي تحتوي على الفلور مكونًا مهمًا من الغازات الإلكترونية الخاصة في مجال مواد المعلومات الإلكترونية. يتم استخدامها بشكل أساسي كعوامل تنظيف وعوامل الحفر ، ويمكن أيضًا استخدامها كدخرفة ومواد تشكيل الأفلام ، وما إلى ذلك. في هذه المقالة ، سيأخذك المؤلف لفهم الغازات الشائعة التي تحتوي على الفلور.

فيما يلي غازات تحتوي على الفلور شائع الاستخدام

Trifluoride النيتروجين (NF3): غاز يستخدم للتنظيف وإزالة الرواسب ، وعادة ما يستخدم لتنظيف غرف التفاعل وأسطح المعدات.

الكبريت سداسي فلوريد (SF6): عامل الفلور المستخدم في عمليات ترسب الأكسيد وكغاز عزل لملء الوسائط العازلة.

فلوريد الهيدروجين (HF): يستخدم لإزالة الأكاسيد من سطح السيليكون وكمحوض للحفر السيليكون والمواد الأخرى.

فلوريد النيتروجين (NF): يستخدم لحفر مواد مثل نيتريد السيليكون (SIN) ونيتريد الألومنيوم (ALN).

trifluoromethane (CHF3) وtetrafluoromethane (CF4): يستخدم لحفر مواد الفلوريد مثل فلوريد السيليكون والفلورايد الألومنيوم.

ومع ذلك ، فإن الغازات المحتوية على الفلور لها مخاطر معينة ، بما في ذلك السمية والتآكل وقابلية التشهير.

سمية

بعض الغازات المحتوية على الفلور سامة ، مثل فلوريد الهيدروجين (HF) ، الذي يكون بخاره مزعجًا للغاية للجلد والجهاز التنفسي ومضر بصحة الإنسان.

التآكل

فلوريد الهيدروجين وبعض الفلوريدات متآكل للغاية ويمكن أن يسبب أضرارًا جسيمة للجلد والعينين والجهاز التنفسي.

القابلية للاشتعال

بعض الفلوريدات قابلة للاشتعال وتتفاعل مع الأكسجين أو الماء في الهواء لإطلاق حرارة شديدة وغازات سامة ، مما قد يسبب النار أو الانفجار.

خطر الضغط العالي

بعض الغازات المفلورة هي متفجرة تحت الضغط العالي وتتطلب رعاية خاصة عند استخدامها وتخزينها.

التأثير على البيئة

الغازات التي تحتوي على الفلور لها عمر مرتفع وقيم GWP ، والتي لها تأثير مدمر على طبقة الأوزون في الغلاف الجوي وقد تسبب الاحترار العالمي والتلوث البيئي.

يستمر تطبيق الغازات في الحقول الناشئة مثل الإلكترونيات في تعميق ، مما يجلب كمية كبيرة من الطلب الجديد على الغازات الصناعية. استنادًا إلى كمية كبيرة من السعة الإنتاجية الجديدة للمكونات الإلكترونية الرئيسية مثل أشباه الموصلات وألواح العرض في الصين البر الرئيسي في السنوات القليلة المقبلة ، وكذلك الطلب القوي على استبدال المواد الكيميائية الإلكترونية ، ستدخل صناعة الغاز الإلكترونية المحلية بمعدل نمو مرتفع.