إلكترونيغازات خاصةتُعدّ الغازات فرعاً مهماً من الغازات الخاصة. فهي تتغلغل في كل حلقة تقريباً من حلقات إنتاج أشباه الموصلات، وتُعتبر مواد خام لا غنى عنها لإنتاج الصناعات الإلكترونية مثل الدوائر المتكاملة فائقة الكبر، وأجهزة العرض المسطحة، والخلايا الشمسية.

تُستخدم الغازات المحتوية على الفلور على نطاق واسع في تكنولوجيا أشباه الموصلات. حاليًا، تُشكّل هذه الغازات حوالي 30% من إجمالي سوق الغازات الإلكترونية العالمية. تُعدّ الغازات الإلكترونية المحتوية على الفلور مكونًا هامًا من مكونات الغازات الإلكترونية المتخصصة في مجال مواد المعلومات الإلكترونية. وتُستخدم بشكل أساسي كعوامل تنظيف وحفر، كما يُمكن استخدامها كشوائب ومواد تشكيل الأغشية، وغيرها. في هذه المقالة، سيُعرّفكم الكاتب على الغازات الشائعة المحتوية على الفلور.

فيما يلي بعض الغازات الشائعة الاستخدام التي تحتوي على الفلور

ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3): غاز يستخدم لتنظيف وإزالة الرواسب، ويستخدم عادة لتنظيف غرف التفاعل وأسطح المعدات.

سداسي فلوريد الكبريت (SF6): عامل فلورة يستخدم في عمليات ترسيب الأكاسيد وكغاز عازل لملء الوسائط العازلة.

فلوريد الهيدروجين (HF): يستخدم لإزالة الأكاسيد من سطح السيليكون وكعامل حفر لحفر السيليكون والمواد الأخرى.

فلوريد النيتروجين (NF): يستخدم لحفر مواد مثل نتريد السيليكون (SiN) ونتريد الألومنيوم (AlN).

ثلاثي فلورو الميثان (CHF3)رباعي فلورو الميثان (CF4): يستخدم لحفر المواد الفلوريدية مثل فلوريد السيليكون وفلوريد الألومنيوم.

ومع ذلك، فإن الغازات المحتوية على الفلور تنطوي على مخاطر معينة، بما في ذلك السمية والتآكل والاشتعال.

سمية

بعض الغازات المحتوية على الفلور سامة، مثل فلوريد الهيدروجين (HF)، الذي يكون بخاره مهيجًا للغاية للجلد والجهاز التنفسي وضارًا بصحة الإنسان.

التآكل

يُعد فلوريد الهيدروجين وبعض الفلوريدات مواد شديدة التآكل ويمكن أن تسبب أضرارًا جسيمة للجلد والعينين والجهاز التنفسي.

قابلية الاشتعال

بعض الفلوريدات قابلة للاشتعال وتتفاعل مع الأكسجين أو الماء في الهواء لإطلاق حرارة شديدة وغازات سامة، مما قد يتسبب في نشوب حريق أو انفجار.

خطر الضغط العالي

بعض الغازات المفلورة قابلة للانفجار تحت ضغط عالٍ وتتطلب عناية خاصة عند استخدامها وتخزينها.

التأثير على البيئة

تتمتع الغازات المحتوية على الفلور بعمر طويل في الغلاف الجوي وقيم عالية لـ GWP، مما يؤثر بشكل مدمر على طبقة الأوزون في الغلاف الجوي وقد يتسبب في الاحتباس الحراري والتلوث البيئي.

يتزايد استخدام الغازات في المجالات الناشئة كالإلكترونيات، مما يُولّد طلباً جديداً كبيراً على الغازات الصناعية. ونظراً للقدرة الإنتاجية الجديدة الكبيرة للمكونات الإلكترونية الرئيسية، كأشباه الموصلات وشاشات العرض، في الصين خلال السنوات القليلة المقبلة، فضلاً عن الطلب القوي على استبدال الواردات من المواد الكيميائية الإلكترونية، فمن المتوقع أن يشهد قطاع الغازات الإلكترونية المحلي نمواً ملحوظاً.