ما هي الغازات الحفر شائعة الاستخدام في الحفر الجاف؟

تقنية الحفر الجافة هي واحدة من العمليات الرئيسية. غاز الحفر الجاف هو مادة رئيسية في تصنيع أشباه الموصلات ومصدر غاز مهم للحفر البلازما. يؤثر أدائها بشكل مباشر على جودة وأداء المنتج النهائي. تشترك هذه المقالة بشكل أساسي في ما هي غازات النقش شائعة الاستخدام في عملية الحفر الجافة.

الغازات القائمة على الفلور: مثلكربون رباعي فلوريد (CF4)، Hexafluoroethane (C2F6) ، trifluoromethane (CHF3) و perfluoropropane (C3F8). يمكن أن تولد هذه الغازات بشكل فعال الفلوريدات المتطايرة عند حفر مركبات السيليكون والسيليكون ، وبالتالي تحقيق إزالة المواد.

الغازات القائمة على الكلور: مثل الكلور (CL2) ،بورون تريكلوريد (BCL3)و Silicon Tetrachloride (SICL4). يمكن أن توفر الغازات القائمة على الكلور أيونات الكلوريد أثناء عملية الحفر ، مما يساعد على تحسين معدل النقش والانتقائية.

الغازات المستندة إلى البروم: مثل البروم (BR2) واليوديد البروم (IBR). يمكن أن توفر الغازات المستندة إلى البروم أداءً أفضل للحفر في عمليات حفر معينة ، خاصة عند حفر المواد الصلبة مثل كربيد السيليكون.

الغازات القائمة على النيتروجين والأكسجين: مثل ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3) والأكسجين (O2). عادة ما تستخدم هذه الغازات لضبط ظروف التفاعل في عملية الحفر لتحسين انتقائية واتجاه الحفر.

تحقق هذه الغازات حفرًا دقيقًا لسطح المادة من خلال مزيج من الثرثرة الفيزيائية والتفاعلات الكيميائية أثناء حفر البلازما. يعتمد اختيار حفر الغاز على نوع المواد المراد حفرها ، ومتطلبات الانتقائية للحفر ، ومعدل الحفر المطلوب.