ما هي غازات الحفر الشائعة الاستخدام في الحفر الجاف؟

تُعدّ تقنية الحفر الجاف إحدى العمليات الأساسية. ويُعتبر غاز الحفر الجاف مادةً رئيسيةً في صناعة أشباه الموصلات، ومصدراً هاماً للغاز في عملية الحفر بالبلازما. ويؤثر أداؤه بشكل مباشر على جودة المنتج النهائي وكفاءته. تتناول هذه المقالة بشكل أساسي أنواع غازات الحفر الشائعة الاستخدام في عملية الحفر الجاف.

الغازات القائمة على الفلور: مثلرابع فلوريد الكربون (CF4)غازات مثل سداسي فلورو الإيثان (C2F6) وثلاثي فلورو الميثان (CHF3) وبيرفلورو البروبان (C3F8) قادرة على توليد فلوريدات متطايرة بكفاءة عند حفر السيليكون ومركباته، مما يؤدي إلى إزالة المواد.

الغازات القائمة على الكلور: مثل الكلور (Cl2)،ثلاثي كلوريد البورون (BCl3)ورباعي كلوريد السيليكون (SiCl4). يمكن للغازات القائمة على الكلور أن توفر أيونات الكلوريد أثناء عملية الحفر، مما يساعد على تحسين معدل الحفر وانتقائيته.

الغازات القائمة على البروم: مثل البروم (Br2) ويوديد البروم (IBr). يمكن للغازات القائمة على البروم أن توفر أداءً أفضل في عمليات الحفر في بعض الحالات، وخاصة عند حفر المواد الصلبة مثل كربيد السيليكون.

الغازات النيتروجينية والأكسجينية: مثل ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3) والأكسجين (O2). تُستخدم هذه الغازات عادةً لضبط ظروف التفاعل في عملية الحفر لتحسين انتقائية الحفر وتوجيهه.

تُحقق هذه الغازات حفرًا دقيقًا لسطح المادة من خلال مزيج من التذرية الفيزيائية والتفاعلات الكيميائية أثناء الحفر بالبلازما. ويعتمد اختيار غاز الحفر على نوع المادة المراد حفرها، ومتطلبات انتقائية الحفر، ومعدل الحفر المطلوب.