ما هو الكربون رباعي فلوريد؟ ما هو الاستخدام؟

ما هوالكربون tetrafluoride؟ ما هو الاستخدام؟

الكربون tetrafluoride، والمعروف أيضًا باسم Tetrafluoromethane ، يعتبر مركبًا غير عضوي. يتم استخدامه في عملية حفر البلازما لمختلف الدوائر المتكاملة ، ويستخدم أيضًا كغاز ليزر ومبرد. إنه مستقر نسبيًا في ظل درجة الحرارة والضغط الطبيعي ، ولكن من الضروري تجنب ملامسة الأكسدة القوية والمواد القابلة للاشتعال أو القابلة للاحتراق. الكربون رباعي السفليورايد هو غاز غير قابل للاحتراق. إذا واجهت حرارة عالية ، فسوف يتسبب ذلك في زيادة الضغط الداخلي للحاوية ، وهناك خطر من التكسير والانفجار. عادةً ما يمكن أن يتفاعل فقط مع كاشف المعادن السائل الأمونيا-سووديوم في درجة حرارة الغرفة.

الكربون tetrafluorideهو حاليا أكبر غاز حفر البلازما المستخدمة في صناعة الأجهزة الكهربائية الدقيقة. يمكن استخدامه على نطاق واسع في حفر السيليكون وثاني أكسيد السيليكون وزجاج الفوسفوشيت ومواد فيلم رقيقة أخرى ، وتنظيف سطح الأجهزة الإلكترونية ، وإنتاج الخلايا الشمسية ، وتكنولوجيا الليزر ، وعزل الطور الغازي ، وتبريد درجة الحرارة المنخفضة ، وعوامل اكتشاف التسرب ، والمنتجات في إنتاج المطبوعات المطبوعة.


وقت النشر: نوفمبر -01-2021