ما هو رباعي فلوريد الكربون؟ ما هي استخداماته؟

ما هورباعي فلوريد الكربونما هو الاستخدام؟

رباعي فلوريد الكربونرباعي فلوريد الكربون، المعروف أيضًا باسم رباعي فلورو الميثان، مركب غير عضوي. يُستخدم في عملية النقش البلازمي لمختلف الدوائر المتكاملة، كما يُستخدم كغاز ليزر ومبرد. يتميز بثبات نسبي في درجات الحرارة والضغط العادية، ولكن من الضروري تجنب ملامسته للمؤكسدات القوية والمواد القابلة للاشتعال. رباعي فلوريد الكربون غاز غير قابل للاشتعال. في حال تعرضه لحرارة عالية، سيزيد الضغط الداخلي للوعاء، مما قد يؤدي إلى تشققه وانفجاره. عادةً ما يتفاعل فقط مع كاشف الأمونيا والصوديوم المعدني السائل في درجة حرارة الغرفة.

رباعي فلوريد الكربونيُعدّ حاليًا أكبر غاز حفر بلازما مُستخدم في صناعة الإلكترونيات الدقيقة. يُمكن استخدامه على نطاق واسع في حفر السيليكون، وثاني أكسيد السيليكون، وزجاج الفوسفوسيليكات، وغيرها من مواد الأغشية الرقيقة، وتنظيف أسطح الأجهزة الإلكترونية، وإنتاج الخلايا الشمسية، وتكنولوجيا الليزر، والعزل الغازي، والتبريد منخفض الحرارة، وعوامل كشف التسرب، والمنظفات في إنتاج الدوائر المطبوعة، وله تطبيقات واسعة.