ثلاثي كلوريد البورون (BCl3)هو مركب غير عضوي شائع الاستخدام في عمليات الحفر الجاف والترسيب الكيميائي للبخار (CVD) في صناعة أشباه الموصلات. وهو غاز عديم اللون ذو رائحة نفاذة قوية في درجة حرارة الغرفة، ويتأثر بالهواء الرطب لأنه يتحلل مائيًا لإنتاج حمض الهيدروكلوريك وحمض البوريك.

تطبيقات ثلاثي كلوريد البورون

في صناعة أشباه الموصلات،كلوريد البورونيُستخدم بشكل أساسي في الحفر الجاف للألمنيوم، وكعامل مُطعِّم لتكوين مناطق من النوع P على رقائق السيليكون. كما يُمكن استخدامه لحفر مواد أخرى مثل زرنيخيد الغاليوم، والسيليكون، ونيتريد الألومنيوم، وكمصدر للبورون في تطبيقات مُحددة. إضافةً إلى ذلك، يُستخدم ثلاثي كلوريد البورون على نطاق واسع في معالجة المعادن، وصناعة الزجاج، والتحليل الكيميائي، والبحوث المخبرية.

سلامة ثلاثي كلوريد البورون

كلوريد البورونمادة أكالة وسامة، وقد تُسبب أضرارًا جسيمة للعينين والجلد. تتحلل هذه المادة في الهواء الرطب مُطلقةً غاز كلوريد الهيدروجين السام. لذا، يجب اتخاذ تدابير السلامة المناسبة عند التعامل معها.كلوريد البورون، بما في ذلك ارتداء الملابس الواقية والنظارات الواقية ومعدات حماية الجهاز التنفسي، والعمل في بيئة جيدة التهوية.