ثلاثي كلوريد البورون (BCl3)مركب غير عضوي يُستخدم عادةً في عمليات الحفر الجاف والترسيب الكيميائي للبخار (CVD) في تصنيع أشباه الموصلات. وهو غاز عديم اللون ذو رائحة نفاذة قوية في درجة حرارة الغرفة، وهو حساس للهواء الرطب لأنه يتحلل مائيًا لإنتاج حمض الهيدروكلوريك وحمض البوريك.

تطبيقات ثلاثي كلوريد البورون

في صناعة أشباه الموصلات،ثلاثي كلوريد البورونيُستخدم بشكل رئيسي في النقش الجاف للألمنيوم، وكمُشَوِّب لتشكيل مناطق من النوع P على رقائق السيليكون. كما يُمكن استخدامه في نقش مواد مثل GaAs وSi وAlN، وكمصدر للبورون في تطبيقات مُحددة. بالإضافة إلى ذلك، يُستخدم ثلاثي كلوريد البورون على نطاق واسع في معالجة المعادن، وصناعة الزجاج، والتحليل الكيميائي، والأبحاث المخبرية.

سلامة ثلاثي كلوريد البورون

ثلاثي كلوريد البورونمادة أكالة وسامة، وقد تُسبب أضرارًا بالغة للعينين والجلد. تتحلل في الهواء الرطب مُطلقةً غاز كلوريد الهيدروجين السام. لذلك، يجب اتخاذ تدابير السلامة المناسبة عند التعامل معها.ثلاثي كلوريد البورون، بما في ذلك ارتداء الملابس الواقية والنظارات ومعدات حماية الجهاز التنفسي، والعمل في بيئة جيدة التهوية.