بورون تريكلوريد (BCL3)هو مركب غير عضوي شائع الاستخدام في عمليات الحفر الجاف وترسب البخار الكيميائي (CVD) في تصنيع أشباه الموصلات. إنه غاز عديم اللون مع رائحة نفاذة قوية في درجة حرارة الغرفة وهو حساس للهواء الرطب لأنه يتحلل لإنتاج حمض الهيدروكلوريك وحمض البوريك.

تطبيقات بورون تريكلوريد

في صناعة أشباه الموصلات ،بورون تريكلوريديستخدم بشكل أساسي للحفر الجاف للألمنيوم وكدافئ لتشكيل مناطق من نوع P على رقائق السيليكون. يمكن استخدامه أيضًا لحفر المواد مثل GaAs و Si و ALN ومصدر Boron في بعض التطبيقات المحددة. بالإضافة إلى ذلك ، يستخدم Boron Trichloride على نطاق واسع في معالجة المعادن وصناعة الزجاج والتحليل الكيميائي والبحوث المختبرية.

سلامة بورون تريكلوريد

بورون تريكلوريدهو تآكل وسامة ويمكن أن يسبب أضرارا جسيمة للعينين والجلد. إنه يتحلل في الهواء الرطب لإطلاق غاز كلوريد الهيدروجين السام. لذلك ، يجب اتخاذ تدابير السلامة المناسبة عند التعاملبورون تريكلوريد، بما في ذلك ارتداء ملابس واقية ، ونظارات واقية ومعدات حماية الجهاز التنفسي ، والعمل في بيئة جيدة التهوية.