تم تسريع خطة الاستبدال المحلية للغاز الإلكتروني الخاص بطريقة شاملة!

في عام 2018 ، بلغ سوق الغاز الإلكتروني العالمي للدوائر المتكاملة 4.512 مليار دولار أمريكي ، بزيادة سنوية قدرها 16٪.أدى معدل النمو المرتفع لصناعة الغاز الإلكترونية الخاصة لأشباه الموصلات وحجم السوق الضخم إلى تسريع خطة الاستبدال المحلية للغاز الإلكتروني الخاص!

ما هو غاز الإلكترون؟

يشير الغاز الإلكتروني إلى مادة المصدر الأساسية المستخدمة في إنتاج أشباه الموصلات وشاشات العرض المسطحة والصمامات الثنائية الباعثة للضوء والخلايا الشمسية وغيرها من المنتجات الإلكترونية ، ويستخدم على نطاق واسع في التنظيف والحفر وتشكيل الأفلام والمنشطات وغيرها من العمليات.تشمل مجالات التطبيق الرئيسية للغاز الإلكتروني صناعة الإلكترونيات ، والخلايا الشمسية ، والاتصالات المتنقلة ، وملاحة السيارات وأنظمة الصوت والفيديو في السيارة ، والفضاء ، والصناعة العسكرية والعديد من المجالات الأخرى.

يمكن تقسيم الغاز الإلكتروني الخاص إلى سبع فئات وفقًا لتركيبته الكيميائية: السيليكون والزرنيخ والفوسفور والبورون وهيدريد المعدن والهاليد وألكوكسيد المعدن.وفقًا لطرق التطبيق المختلفة في الدوائر المتكاملة ، يمكن تقسيمها إلى غاز المنشطات وغاز epitaxy وغاز غرس الأيونات وغاز الصمام الثنائي الباعث للضوء وغاز النقش وغاز ترسيب البخار الكيميائي وغاز التوازن.هناك أكثر من 110 وحدة من الغازات الخاصة المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات ، منها أكثر من 30 نوعًا شائع الاستخدام.

بشكل عام ، تقسم صناعة إنتاج أشباه الموصلات الغازات إلى نوعين: الغازات الشائعة والغازات الخاصة.من بينها ، يشير الغاز الشائع الاستخدام إلى مصدر مركزي ويستخدم الكثير من الغاز ، مثل N2 ، H2 ، O2 ، Ar ، He ، إلخ. يشير الغاز الخاص إلى بعض الغازات الكيميائية المستخدمة في عملية إنتاج أشباه الموصلات ، مثل التمديد ، وحقن الأيونات ، والمزج ، والغسيل ، وتشكيل القناع ، وهو ما نسميه الآن الغاز الإلكتروني الخاص ، مثل SiH4 ، PH3 ، AsH3 ، B2H6 ، N2O ، NH3 ، SF6 ، NF3 ، CF4 ، BCl3 ، BF3 ، HCl ، Cl2 ، إلخ.

في عملية الإنتاج الكاملة لصناعة أشباه الموصلات ، بدءًا من نمو الرقاقة وحتى العبوة النهائية للجهاز ، لا يمكن فصل كل رابط تقريبًا عن الغاز الإلكتروني الخاص ، ومجموعة متنوعة من الغازات المستخدمة ومتطلبات الجودة العالية ، لذلك يحتوي الغاز الإلكتروني على مواد أشباه الموصلات."طعام".

في السنوات الأخيرة ، زادت المكونات الإلكترونية الرئيسية في الصين مثل أشباه الموصلات ولوحات العرض في الطاقة الإنتاجية الجديدة ، وهناك طلب قوي لاستبدال المواد الكيميائية الإلكترونية.أصبح موقع الغازات الإلكترونية في صناعة أشباه الموصلات بارزًا بشكل متزايد.ستدخل صناعة الغاز الإلكترونية المحلية نموًا سريعًا.

يحتوي الغاز الإلكتروني الخاص على متطلبات عالية جدًا للنقاء ، لأنه إذا لم يكن النقاء على مستوى المتطلبات ، فإن مجموعات الشوائب مثل بخار الماء والأكسجين في الغاز الإلكتروني الخاص ستشكل بسهولة فيلم أكسيد على سطح أشباه الموصلات ، مما يؤثر على عمر خدمة الأجهزة الإلكترونية ، ويحتوي الغاز الإلكتروني الخاص على جزيئات الشوائب يمكن أن تسبب دوائر قصيرة لأشباه الموصلات وتلف الدائرة.يمكن القول أن تحسين النقاء يلعب دورًا حيويًا في إنتاج وأداء إنتاج الأجهزة الإلكترونية.

مع التطور المستمر لصناعة أشباه الموصلات ، تستمر عملية تصنيع الرقائق في التحسن ، وقد وصلت الآن إلى 5 نانومتر ، وهي على وشك الاقتراب من حد قانون مور ، وهو ما يعادل واحدًا على عشرين من قطر شعرة الإنسان ( حوالي 0.1 ملم).لذلك ، يطرح هذا أيضًا متطلبات أعلى بشأن نقاء الغاز الإلكتروني الخاص الذي تنتجه أشباه الموصلات.