دور الكبريت سداسي فلوريد في حفر نيتريد السيليكون

Hexafluoride الكبريت هو غاز ذو خصائص عازلة ممتازة وغالبًا ما يتم استخدامه في إطفاء القوس عالي الجهد والمحولات ، وخطوط نقل الجهد عالي الجهد ، والمحولات ، وما إلى ذلك ، بالإضافة إلى هذه الوظائف ، يمكن أيضًا استخدام سداسي كبريتيور. يعتبر سداسي فلوريد الكبريت العالي من الدرجة الإلكترونية من الدرجة الإلكترونية ، وهو مستخدم إلكتروني مثالي ، والذي يستخدم على نطاق واسع في مجال تكنولوجيا الإلكترونيات الدقيقة. اليوم ، سيقدم محرر الغاز الخاص NIU Yueyue تطبيق سداسي فلوريد الكبريت في حفر نيتريد السيليكون وتأثير المعلمات المختلفة.

نناقش عملية SINX التي تحفر البلازما SF6 ، بما في ذلك تغيير قوة البلازما ، ونسبة الغاز لـ SF6/HE وتضيف الغاز الكاتيوني O2 ، ومناقشة تأثيرها على معدل حفر طبقة حماية عنصر Sinx من TFT ، واستخدام إشعاع البلازما. يستكشف العلاقة بين تغيير معدل حفر Sinx وتركيز أنواع البلازما.

لقد وجدت الدراسات أنه عند زيادة قوة البلازما ، يزداد معدل الحفر ؛ إذا تم زيادة معدل تدفق SF6 في البلازما ، يزداد تركيز الذرة F ويرتبط بشكل إيجابي مع معدل الحفر. بالإضافة إلى ذلك ، بعد إضافة الغاز الكاتيوني O2 تحت معدل التدفق الإجمالي الثابت ، سيكون له تأثير زيادة معدل الحفر ، ولكن في ظل نسب تدفق O2/SF6 المختلفة ، ستكون هناك آليات تفاعل مختلفة ، والتي يمكن تقسيمها إلى ثلاثة أجزاء: (1) ، فإن نسبة تدفق O2/SF6 صغيرة جدًا ، يمكن أن تساعد O2 في التفويض من SF6 ، و ETCH. (2) عندما تكون نسبة تدفق O2/SF6 أكبر من 0.2 إلى الفاصل الزمني الذي يقترب 1 ، في هذا الوقت ، بسبب كمية كبيرة من تفكك SF6 لتشكيل ذرات F ، فإن معدل الحفر هو الأعلى ؛ ولكن في الوقت نفسه ، تتزايد ذرات O في البلازما أيضًا ، ومن السهل تكوين Siox أو Sinxo (YX) مع سطح فيلم Sinx ، وكلما زادت ذرات O ، كلما زادت صعوبة ذرات F لتفاعل الحفر. لذلك ، يبدأ معدل الحفر في التباطؤ عندما تكون نسبة O2/SF6 قريبة من 1. (3) عندما تكون نسبة O2/SF6 أكبر من 1 ، ينخفض ​​معدل الحفر. نظرًا للزيادة الكبيرة في O2 ، تصطدم ذرات F المنفصلة بـ O2 وشكلها ، مما يقلل من تركيز ذرات F ، مما يؤدي إلى انخفاض في معدل الحفر. يمكن ملاحظة ذلك أنه عند إضافة O2 ، تتراوح نسبة تدفق O2/SF6 بين 0.2 و 0.8 ، ويمكن الحصول على أفضل معدل للحفر.