دور سداسي فلوريد الكبريت في حفر نيتريد السيليكون

سداسي فلوريد الكبريت هو غاز له خصائص عزل ممتازة ، وغالبًا ما يستخدم في إطفاء القوس الكهربائي عالي الجهد والمحولات ، وخطوط النقل عالية الجهد ، والمحولات ، وما إلى ذلك ، ومع ذلك ، بالإضافة إلى هذه الوظائف ، يمكن أيضًا استخدام سداسي فلوريد الكبريت كإخفاء إلكتروني .سداسي فلوريد الكبريت عالي النقاء الإلكتروني هو أداة إلكترونية مثالية ، تستخدم على نطاق واسع في مجال تكنولوجيا الإلكترونيات الدقيقة.اليوم ، سيقدم محرر الغاز الخاص Niu Ruide Yueyue تطبيق سداسي فلوريد الكبريت في حفر نيتريد السيليكون وتأثير المعلمات المختلفة.

نناقش عملية SiNx لنقش البلازما SF6 ، بما في ذلك تغيير قوة البلازما ، ونسبة الغاز لـ SF6 / He وإضافة الغاز الموجب O2 ، ومناقشة تأثيره على معدل الحفر لطبقة حماية عنصر SiNx من TFT ، واستخدام إشعاع البلازما. يحلل مقياس الطيف تغيرات التركيز لكل نوع في بلازما SF6 / He و SF6 / He / O2 ومعدل تفكك SF6 ، ويستكشف العلاقة بين تغير معدل حفر SiNx وتركيز أنواع البلازما.

لقد وجدت الدراسات أنه عندما تزداد قوة البلازما ، يزداد معدل النقش ؛إذا زاد معدل تدفق SF6 في البلازما ، يزداد تركيز ذرة F ويرتبط بشكل إيجابي مع معدل الحفر.بالإضافة إلى ذلك ، بعد إضافة الغاز الموجب O2 تحت معدل التدفق الكلي الثابت ، سيكون له تأثير في زيادة معدل الحفر ، ولكن في ظل معدلات تدفق O2 / SF6 المختلفة ، ستكون هناك آليات تفاعل مختلفة ، والتي يمكن تقسيمها إلى ثلاثة أجزاء : (1) نسبة تدفق O2 / SF6 صغيرة جدًا ، ويمكن أن يساعد O2 في تفكك SF6 ، ويكون معدل الحفر في هذا الوقت أكبر مما هو عليه عند عدم إضافة O2.(2) عندما تكون نسبة تدفق O2 / SF6 أكبر من 0.2 إلى الفاصل الزمني الذي يقترب من 1 ، في هذا الوقت ، نظرًا للكمية الكبيرة من تفكك SF6 لتكوين ذرات F ، يكون معدل الحفر هو الأعلى ؛ولكن في الوقت نفسه ، تزداد ذرات O في البلازما أيضًا ومن السهل تكوين SiOx أو SiNxO (yx) بسطح فيلم SiNx ، وكلما زادت ذرات O ، زادت صعوبة ذرات F رد فعل الحفر.لذلك ، يبدأ معدل الحفر في التباطؤ عندما تكون نسبة O2 / SF6 قريبة من 1. (3) عندما تكون نسبة O2 / SF6 أكبر من 1 ، ينخفض ​​معدل الحفر.بسبب الزيادة الكبيرة في O2 ، تتصادم ذرات F المنفصلة مع O2 وشكل OF ، مما يقلل من تركيز ذرات F ، مما يؤدي إلى انخفاض معدل الحفر.يتضح من هذا أنه عند إضافة O2 ، تكون نسبة تدفق O2 / SF6 بين 0.2 و 0.8 ، ويمكن الحصول على أفضل معدل حفر.